Germany – Electroplating machines – Erweiterung der vorhandenen galvanischen Abscheideanlage Solstice S8 um zusätzliche Prozessmodule und Wafergrößen

Description

Gegenstand der Beschaffung ist die funktionale und technische Erweiterung der am Ferdinand-Braun-Institut bereits vorhandenen galvanischen Abscheideanlage des Typs Solstice S8. Vorgesehen ist insbesondere die Nachrüstung einer Gold-Abscheidekammer, einer Vacuum-Pre-Wet-Chamber sowie weiterer für die Verarbeitung von 150 mm- und 200 mm-Wafern erforderlicher Komponenten einschließlich Softwareanpassung. Die nachzurüstenden Komponenten sind technisch, funktional und steuerungsseitig eng mit der vorhandenen Bestandsanlage verknüpft. Ein Wechsel des Unternehmens würde voraussichtlich zu technischen Unvereinbarkeiten bzw. unverhältnismäßigen technischen Schwierigkeiten insbesondere bei Integration, Betrieb, Wartung, Validierung, Ersatzteilversorgung sowie bei der Aufrechterhaltung eines reproduzierbaren und sicheren Prozessablaufs führen.